Faseroptische Temperaturlösungen für die Halbleiterherstellung

Unsere faseroptischen Temperaturmessgeräte auf Galliumarsenid-Basis bieten dank ihres breiten Messbereichs von -200°C bis +300°C und der hohen Performance im Bereich von +/-0.2°C ideale Voraussetzungen zur Prozessüberwachung bei der Herstellung von Halbleiterwafern.

Die strengen Anforderungen der Reinheit und Sicherheit innerhalb der Produktionskammern sind Mindestanforderungen an unsere Technologie. Völlig immun für RF und EMI sowie durch ihren geringen Verschleiß und die daraus resultierende beinahe wartungsfreie und absolut zuverlässige Messwertermittlung garantieren die faseroptischen Temperatursensoren von Optocon punktgenaue Messungen auf Siliziumwafern.

Durch den völlig variablen Spielraum bei der Einrichtung des Messsystems lässt sich die Optocon-Technologie selbst unter schwierigsten Bedingungen installieren - unsere faseroptischen Sensoren sind über viele hundert Meter verlängerbar, ohne Beeinträchtigung der Messgenauigkeit oder der Aktualisierungsrate von 250ms pro Messkanal.

Empfohlene Produkte

für Mikrowellen, Labor

TS2

für Generatoren, Stromschienen

TS3

für Mikrowellenchemie

zur Prozessüberwachung

Vorteile

• Präzise, direkte Temperaturmessung
• Vollständige Immunität gegenüber HF-, EM-, MR- und elektrischen Interferenzen